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1. Spectrocopic characterization techniques for semiconductor technology III

   14-15 March, 1988, Newport Beach, California
   Beteiligt: Glembocki, Orest J. (Hrsg.)

   Erschienen: 1988

   Verlag:  SPIE, Bellingham, Wash.

   • Bibliographische Angaben
   • Zugang
   • Export

   Berlin: Humboldt-Universität zu Berlin, Universitätsbibliothek, Jacob-und-Wilhelm-Grimm-Zentrum

   Standort:

   Humboldt-Universität zu Berlin, Universitätsbibliothek, Jacob-und-Wilhelm-Grimm-Zentrum

   Fernleihe:

   uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe

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   Quelle:	Verbundkataloge
   Beteiligt:	Glembocki, Orest J. (Hrsg.)
   Sprache:	Unbestimmt
   Medientyp:	Buch (Monographie)
   ISBN:	0892529814
   Schriftenreihe:	Proceedings of the SPIE ; 946
   Schlagworte:	Raman-Effekt; Ellipsometrie; Modulation; Konferenz; Charakterisierung; Photolumineszenz; Halbleitertechnologie; Spektroskopie
   Umfang:	VIII, 234 S., Ill.